求助！ICP刻蚀设备哪个牌子比较好？华慧高芯网做这个工艺怎么样

关键字：工艺更新时间：2019-04-01 17:27:20 147次访问

您好！华慧高芯网推荐ICP刻蚀机Oxford Instrument PlasmaPro System100 ICP 180 ，该设备是英国牛津仪器公司的主流高端设备，也是目前业内最为推崇的设备之一。
主要应用于：
直径6英寸及以下Si的均匀刻蚀
稳定性好，重复性高，兼容性
同时兼容多种刻蚀工艺
广泛应用于半导体材料、光电子学、集成电路、激光光学、红外探测器、功率器件、MEMS系统等加工与研究
如果有工艺的问题，请到华慧高芯网交流，会有专业的工程师与您交流。华慧高芯网_国内领先、专注光电领域的电商服务平台，涵盖中高端光电芯片研发代工、检测分析等技术解决方案的服务能力，拥有完整的设备仪器以及相关配件耗材的供应体系，致力于为光电产业上下游企业、高校以及相关机构用户提供一站式的服务。