纳米加工化学腐蚀方法 - 爱问答

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纳米加工化学腐蚀方法

纳米级加工技术也可以分为机械加工、化学腐蚀、能量束加工、复合加工、隧道扫描显微技术加工等多种方法。

化学腐蚀法制备3C-SiC纳米颗粒的方法,用氢氟酸、硝酸的混和液腐蚀普通3C-SiC粉末,所用原始粉末尺度大于微米量级,腐蚀所用酸为浓度35%-45%的氢氟酸与浓度60%-70%的硝酸,体积比为2.0-3.0∶1.0;加热至80℃-100℃,反应时间为0.5-2.0小时;冷却后将反应后的酸液与粉末一起在高速离心机中离心,倒除上层酸液,取下层粉末,在烘箱中70℃-90℃进行干燥;在干燥后的粉末中加入去离子水或无水乙醇,超声空化30-60分钟,取上层清液;此去离子水或无水乙醇清液中即含有尺寸小于8nm的3C-SiC纳米颗粒。本发明制备方法简单,无需复杂的装置。

纳米级加工技术也可以分为机械加工、化学腐蚀、能量束加工、复合加工、隧道扫描显微技术加工等多种方法。


化学合成方法

化学合成方法是制备纳米尺度电子学器件的另一种途径——用化学过程“自下而上”地把微观体系的物质单元组装成纳米器件。由于用纳米探针进行机械合成很难同时组装数目巨大的纳米结构和器件,所以研究化学合成方法非常重要。


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