为什么电离真空计不能测量低真空环境的真空度
一般来说，真空度分为粗真空，低真空，高真空，超高真空等。真空镀膜机的排气过程，就是从粗真空到高真空的过程，除非特殊要求，才会用到超高真空。
常用的真空计，一般都是复合式的，一组低真空（含测粗真空），一组高真空，这是根据规管的特性来定的。低真空一般都是电阻规，高真空要用到电离规。
电阻规只能测量低真空，到了高真空就失效了。而电离规只能工作在高真空，低真空下启动就可能烧毁灯丝。
高温热阴极在工作时，如果环境中活性高的气体太多，容易发生反应而断掉，换句话说，你测低真空，一测探头就烧了，所以测量不了。
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